產(chǎn)品名稱 | porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤 |
加工精度 | 0.01mm |
是否定制 | 訂制 |
粗糙度 | Ra0.8 |
材料成分 | 氧化鋁 |
我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀! |
立即咨詢
0769-82913501 |
porous chuck wafer多孔陶瓷晶圓吸盤
類型:多孔陶瓷+不銹鋼或氧化鋁陶瓷
尺寸:標(biāo)準(zhǔn) 6 到 12 英寸尺寸(可根據(jù)要求定制尺寸)
形狀:圓形/方形/矩形……
目數(shù):標(biāo)準(zhǔn)#600(也可開發(fā)其他粒度要求。)
陶瓷顏色:灰色/米色
特點:孔隙率好,精度高
多孔陶瓷由像海綿一樣從內(nèi)部連接到表面的連續(xù)孔形成。這種技術(shù)有很多名稱,例如多孔陶瓷真空吸盤或卡盤。夾持面利用真空將被附著物體用大氣壓固定。這與吸盤的原理相同。傳統(tǒng)的解決方案使用用于空氣的通道,例如通過機(jī)械加工形成的凹槽或孔。這會導(dǎo)致薄膜變形和薄產(chǎn)品被吸入凹槽或孔洞等問題。我們的多孔陶瓷在整個表面上都有微米級的孔,可以均勻粘附而不會變形固定物體。