產品名稱 | 8英寸微孔陶瓷靜電卡盤 |
加工精度 | 0.01mm |
是否定制 | 訂制 |
粗糙度 | Ra0.8 |
材料成分 | 多孔陶瓷、氧化鋁 |
我要定制 | 按客戶需求接受定制;歡迎來廠參觀! |
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0769-82913501 |
8英寸微孔陶瓷靜電卡盤
多孔陶瓷靜電卡盤臺或拋光卡盤臺供應給半導體行業(yè),用于硅片切割或精加工。
本產品為均勻致密的框架,強度高,孔隙率好,吸力持久,品質優(yōu)良,效率高,無污染,固定精度高。
可用尺寸直徑 6 英寸、8 英寸、12 英寸和定制尺寸或具有高平行度和平面度的設計。
提供的服務如下:
■制作新型多孔陶瓷靜電卡盤
■修復不平整表面并使多孔卡盤平行化
■用新的多孔陶瓷板翻新無法使用的卡盤
利用多孔陶瓷的特性,可以均勻固定物體(薄膜、電路板、晶片等),而不會出現夾持力不一致的情況。這可以在磁性和非磁性部件的氣氛中進行抽吸。
它適用于夾持薄元件,例如薄半導體器件、3D 內存板、薄膜/薄膜、倒裝芯片鍵合機夾持臺等。