陶瓷手臂在高端半導(dǎo)體設(shè)備里的應(yīng)用

    陶瓷機(jī)械手臂又稱陶瓷搬運(yùn)臂，顧名思義，陶瓷機(jī)械手臂在半導(dǎo)體設(shè)備中起到搬運(yùn)作用，它相當(dāng)于半導(dǎo)體設(shè)備這個(gè)機(jī)器人的手，負(fù)責(zé)搬運(yùn)晶圓硅晶片到指定位置。因?yàn)榫A硅晶片在極其容易受到其他顆粒的污染，所以一般在真空環(huán)境下進(jìn)行。有興趣的朋友可以聯(lián)系鈞杰陶瓷熱線電話：13712574098。

    在此環(huán)境下，大部分材料的機(jī)械手臂一般難以完成工作，制作機(jī)械手臂的材料需要耐高溫、耐磨、并且硬度也需要很高。這時(shí)有人發(fā)現(xiàn)了精細(xì)陶瓷材料可以滿足這些條件，一般的陶瓷機(jī)械手臂有兩種，一種是氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂，另一種是碳化硅陶瓷機(jī)械手臂。

    氧化鋁陶瓷和碳化硅陶瓷的都具備致密質(zhì)、高硬度、高耐磨性的物理性質(zhì)，以及良好的耐熱性能、優(yōu)良的機(jī)械強(qiáng)度、高溫環(huán)境仍具有良好的絕緣性、良好的抗腐蝕性等物理性能，是用于制作半導(dǎo)體設(shè)備機(jī)械手臂的絕佳材料。

    但是就性能來說，碳化硅陶瓷制作的機(jī)械手臂會(huì)優(yōu)于氧化鋁陶瓷制作的機(jī)械手臂。

    常壓燒結(jié)碳化硅陶瓷制品，采用高純超細(xì)碳化硅微粉，經(jīng)2450℃高溫?zé)Y(jié)而成，碳化硅含量在99.1%以上，制品密度≥3.10g/cm3,不含金屬硅等金屬雜質(zhì)。

    碳化硅陶瓷材料主要性質(zhì)：
耐高溫--1800℃溫度下正常使用；
高熱導(dǎo)性--和石墨材料的導(dǎo)熱性相當(dāng)；
硬度高--硬度僅次于金剛石、立方氮化硼；
耐腐蝕--強(qiáng)酸、強(qiáng)堿對(duì)其無任何腐蝕，抗腐蝕性優(yōu)于碳化鎢和氧化鋁；
重量輕--密度3.10g/cm3,與鋁接近，；
不變形--極小的熱膨脹系數(shù)，
抗熱震--該材料可承受急劇的溫度變化，抗熱沖擊，耐急冷急熱,性能穩(wěn)定。

    從材料性質(zhì)來看，碳化硅陶瓷用于制作陶瓷機(jī)械手臂較為合適，但是從材料價(jià)格、加工難度等經(jīng)濟(jì)方面來說，氧化鋁陶瓷機(jī)械手臂的性價(jià)比更高。氧化鋁陶瓷具備制作機(jī)械手臂的所有需求，性價(jià)比高于碳化硅，但是碳化硅性能比氧化鋁好，選擇哪種材料制作半導(dǎo)體機(jī)械手臂主要也看個(gè)人需求了。